インラインXUV分光器&ビームプロファイラー nanoLIGHT

nanoLIGHTは、XUVビームをその場で定期的にサンプリングする完全な特性評価装置です。分光計とビームプロファイラーを内蔵し、ビームバイパスのために完全に格納できます。動作モードの切り替えは高速かつ自動化されています。

nanoLIGHTは16×17cm²というコンパクトな設置面積で、最も狭い装置にも適合し、後付けに最適なソリューションです。

10～80nmという極めて広い波長範囲を同時に記録できます。フィルター挿入ユニットにより、金属フィルターの選択と校正が可能です。全波長範囲で20%という高いグレーティング効率と、MCP検出器の調整可能な感度により、広いダイナミックレンジを実現します。

nanoLIGHTのカスタマイズされたチャンバー内バージョンもご用意しています。