顕微鏡用テストターゲット TCシリーズ

解像度テストターゲットはすべて、高精度電子ビームリソグラフィを用いて製造されています。10×10 mm²の基板は石英製で、非常に広いスペクトル透過率（DUV-VIS-NIR）を有しています。基板上には、高濃度のクロム層が成膜されています。

テスト構造は、クロム層のアブレーションによって作製され、電子ビームプロセスにより100 nmまでの微細構造を実現できます。同時に、優れた寸法精度と構造エッジの直線性も確保されています。クロム層のアブレーションにより、テストスライドの構造部分は透明になり、背景は残存するクロム層によって遮蔽されます。

解像度テストターゲットは、標準サイズ75×25 mm²の堅牢なステンレス鋼製支持体に埋め込まれています。顕微鏡対物レンズで使用するための、0.17 mm厚のカバーガラス付きバージョンもご用意しています。

特徴

アプリケーション

製品情報

TCシリーズ
基板	石英ウエハー(溶融シリカ): 10mm x 10mm x1.0mm
プレート	ステンレススチール: 75mm x 25mm x 1.5mm
パターンレイヤー	クロム、optical density OD>8@400nn / 6@550 nm / 4.5@750 nm / 3.6@1 µm
パターン	最大3300線対/ミリメートル（LP/mm）の線数、ピンホール、チェッカーボードなどのバリエーション
寸法公差（最大絶対誤差）	14 nm
透過波長	190 nm – 2000 nm
カバーガラス (optional)	厚み：0.17mm +/- 5μm

製品比較表＆ラインナップ

TCシリーズ	アプリケーション	解像度(LP/mm)	最小ライン幅	カバーガラス	基板	MTF	ピンホール
TC-RT01	明視野顕微鏡	7.5-3300	150nm	オプション	石英	×	◯
TC-RT02	透過顕微鏡	-	150nm(シーメンスセンター)	オプション	石英	◯	×
TC-RT03fl	蛍光顕微鏡、透過顕微鏡、共焦点顕微鏡	7.5-3300	100nm	標準装備	YAG:Ce(蛍光結晶)	◯	◯
TC-RT03mat	材料顕微鏡、反射用途	7.5-3300	-	オプション	石英	◯	×
TC-C850	MTF評価、ディストーション	7.5-3300	-	-	石英	◯	×

解像度テストターゲット TC-RT01

TC-RT01解像度テストターゲットを使用すれば、透過光下でレンズの解像度限界を非常に簡単かつ迅速に測定できます。線パターン群とサイズ表示がシンプルに配置されているため、直感的に操作できます。さらに、5つのピンホールにより、あらゆる光学結像誤差を特性評価できます。

透過光を用いた解像度テストターゲット
59 line pattern groups: 7.5 – 3300 LP/mm
3300 LP/mm には浸漬レンズまたは紫外線ライトが必要です
5ピンホール (Ø 4.0 µm – 0.25 µm)

シーメンススター TC-RT02

シーメンススターTC-RT02解像度テストターゲットは、特に開口数が非常に高い顕微鏡レンズに適しています。5つのシーメンススターの中央にあるセグメントは精密に製造されており、最小幅は150nmです。追加の測定マークと位置決めマークにより、正確な調整が可能です。

非常に高い開口数（NA）を持つ顕微鏡レンズ
5つのシーメンススター
中心部の最小幅：150 nm
追加の測定および位置決めマーク

蛍光解像度テストターゲット TC-RT03fl

この蛍光超高解像度テストチャートを使用すれば、ハイエンド顕微鏡対物レンズの解像度限界と平均焦点距離（MFT）を視野全体にわたって測定できます。水平方向と垂直方向に200nm（1mmあたり5000対の線）までのピッチを持つ線パターンにより、市販されている最高性能の油浸対物レンズの解像度限界を検証することが可能です。

透過光および広視野蛍光顕微鏡用のカバーガラス付き
レーザースキャン顕微鏡にも使用可能
漂白なし（YAG:Ce結晶）
Line groups from 75 – 5000 lines/mm (200nm pitch)
10倍から100倍までの対物レンズに対応する、20×20個のピンホール
斜めエッジMTF用の正方形フィールド

材料顕微鏡用解像度テストターゲット TC-RT03mat

材料顕微鏡用解像度テストターゲット

広視野顕微鏡およびレーザー走査顕微鏡用のカバーガラスなし
75～5000本/mm（200nmピッチ）のライングループ
10倍から100倍までの対物レンズに対応する、20×20個のピンホール
斜めエッジMTF用の正方形フィールド

チェックボード　TC-CB50

TC-CB50テストターゲットは、50×50µm²のフィールドが180×180個並んだチェッカーボード状のパターンを備えており、画像スキューや画像フィールド湾曲のテストに特に適しています。さらに、フィールドのエッジが非常にシャープなため、例えばカメラの局所的な画像品質を判定することも可能です。当社のSlanted-Edgeソフトウェアパッケージを使用すれば、変調伝達関数（MTF）を測定できます。