コンパクトEUV光源 proLINE
proLINEは、使いやすいプラズマベースのEUV光源です。1～20nmの幅広い波長範囲で極めて高い出力を提供します。proLINEはターンキー方式の光源であり、複雑なガス、光軸の調整が必要なく研究者は実験に専念できます。この光源は、当社の製品ラインナップにあるモノクロメーターや分光器と組み合わせることで、さらに研究の効率を高めることができます。
proLINEは汎用性が高く、2つ以上の出力が利用可能で、ビームラインで同時に使用できます。また、ガス選択とモノクロメーター設定により、波長切り替えは迅速かつ自動的に行えます。
モノクロメーター、集光ユニット、実験用ターゲット構成などを含むカスタマイズバージョンもご用意しています。proLINE光源は、X線吸収分光システムproXASと組み合わせることで、多目的テストステーションとして使用できます。お客様のニーズについて、ぜひお問い合わせください。
特徴
- 広範囲の波長における高い出力
- 広帯域出力または単色出力
- 高信頼性、長期安定型EUV光源
- コンパクト光源
アプリケーション
- EUV計測
- Blue-Xの研究
- マスク欠陥検査
- レジスト現象
- EUV顕微鏡
- Water window顕微鏡
製品情報
| proLIGHT | |||
|---|---|---|---|
| タイプ | デブリフリーレーザー生成ソフトX線 | ||
| ターゲットガス | クリプトン、窒素、キセノン(その他リクエスト可能) | ||
| 繰り返し周波数 | 20Hz | ||
| 光源安定性 | ±1.5% | ||
| 波長範囲 | 1.5-6, 2.16, 2.48, 2.88, 13.0, 13.5nm | ||
| 発光角度 | 2pi(集光ユニット搭載可能) | ||
| 真空度 | <10^-6mbar(UHVバージョン対応可) | ||
| レーザークラス | 1 | ||
| フットプリント | 1m x 1m | ||
| クリプトン | 窒素 | キセノン | |
| 出力波長 | 1.5-6nm | 2.48nm, 2.88nm | 13.0nm, 13.5nm |
| 光束 | 2∙10^15ph/s/sr (1∙1013ph/s/sr/eV at 450eV) | 1∙10^14ph/s/sr | 7∙10^14ph/s/sr |
| 出力強度(2pi sr) | 200mW | 10mW | 70mW |
| 単色光束(2%半値幅) @250μm集光スポット | 7∙10^19ph/s/m² | 2∙10^19ph/s/m² | 7∙10^14ph/s/sr |
proLINEの特性プラズマ発光スペクトル。
波長の切り替えは、ガス選択とモノクロメーター設定により、高速かつ自動的に行われます。
メンテナンスの手間が少ない設計
proLINE光源は極めて安定した動作を実現し、装置への注意をほとんど必要とせず、研究に集中できます。
電極レスでデブリが発生しない技術により、最小限のメンテナンスで高いシステム稼働率を実現します。ガスノズルの精密な設計と振動を遮断した設置構造により、±1.5%以下のフラックス変動を実現しています。
