VUV(真空紫外)プラズマ光源
Resonance Ltd. の無電極VUV光源はコンパクトかつメンテナンスフリーで平均寿命が4000時間を超える設計となっています。標準で2.75インチのCFフランジに取り付けることが可能です。内部にはAC100Vのコンセントで駆動可能な一体型のRF励起電源が備わっており、プラグ&プレイでご使用いただけます。光源のバリエーションとして輝線スペクトル、連続スペクトル、原子スペクトルなど様々なアプリケーションに対応できる多種多様なガスをラインナップしています。
対応ガス:Krypton(クリプトン)、Xenon(キセノン)、Oxygen(酸素)、Hydrogen(水素)、Nitrogen(窒素)、Chlorine(塩素)、Lyman alpha(ライマンα)、Argon(アルゴン)、Deuterium(重水素)、OH band、NOガンマ、CO4th
特徴
- コンパクト設計
- 100-400nmの幅広い波長に対応
- 出力モニタリング機能
- ガス温度調節機能
- 1%以下のドリフト
- 輝線、連続、分子、オーロラスペクトルの選択可
- 空冷:外部冷却不要
アプリケーション
- VUV材料研究
- VUV分光分析
- PDP(プラズマディスプレイパネル)蛍光体研究
- 分光器のVUV波長校正
- VUV波長での光学アライメント
- 質量分析における光イオン化
- 真空システム内の水蒸気検出
製品情報
モデル | 構成 | 出力(photons/sec/str) | 主要スペクトル |
---|---|---|---|
KrLM-L | Krypton(クリプトン) | 3x10^15 | 116.5, 123.6 |
XeLM-L | Xenon(キセノン) | 5x10^15 | |
ArLM-L | Argon(アルゴン) | 3x10^13 | |
Hg | Mercury(水銀) | 2x10^15 | 184.9, 254 |
OHeLM-L | Oxygen(酸素) | 3x10^13 | 130.2, 130.4 |
H*HeLM-L | ライマンα | 1x10^14 | 112.6 |
Minimum | Average | Maximum | 単位 | |
---|---|---|---|---|
プラズマキャビティ | 30×9 | Mm ID | ||
窓材 | MgF2 | |||
ドリフト | 0.2 | 1.0 | % per hour | |
キャリブレーション | トレーサブルなNIST標準によって決定された絶対強度 | |||
テスト | VUV波長帯域において波長を測定 | |||
寿命 | 1500 | >4000 | Hours | |
筐体温度 | 0 | 55 | ℃ | |
入力電圧 | 100 | 250 | AC Volts | |
オプションパルスオペレーション | 50 | 400Hz | Hz |
モデル | 構成 | 出力(photon/sec/str) | 主要スペクトル |
---|---|---|---|
ArCM-L | Argon(アルゴン) | 4x10^15 | 110~140 |
KrCM-L | Krypton(クリプトン) | 3x10^15 | 124~170 |
XeCM-L | Xenon(キセノン) | 8.5x10^15 | 148~190 |
D2HeCM-L | Deuterium(重水素) | 1x10^15 | 115~400 |
Minimum | Average | Maximum | 単位 | |
---|---|---|---|---|
プラズマキャビティ | 30×9 | Mm ID | ||
窓材 | MgF2 | |||
ドリフト | 0.2 | 1.0 | % per hour | |
キャリブレーション | トレーサブルなNIST標準によって決定された絶対強度 | |||
テスト | VUV波長帯域において波長を測定 | |||
寿命 | 1500 | >4000 | Hours | |
筐体温度 | 0 | 55 | ℃ | |
入力電圧 | 100 | 250 | AC Volts | |
入力電流 | 20 | W | ||
オプションパルスオペレーション | 50 | 10 | KHz |
モデル | 構成 | 出力(photons/sec/str) | 主要スペクトル |
---|---|---|---|
OHArMQ-LOT | OH Band | 1.5x10^14 | 308 |
NOArMQ-LOT | NO Gamma | 4x10^14 | 200~260 |
COArMM-LOT | CO 4th | 1x10^14 | 110~200 |
Minimum | Average | Maximum | 単位 | |
---|---|---|---|---|
プラズマキャビティ | 30×9 | Mm ID | ||
窓材 | MgF2 | |||
ドリフト | 0.2 | 1.0 | % per hour | |
キャリブレーション | トレーサブルなNIST標準によって決定された絶対強度 | |||
テスト | VUV波長帯域において波長を測定 | |||
寿命 | 500 | Hours | ||
筐体温度 | 0 | 55 | ℃ | |
入力電圧(50-60Hz) | 8 | 35 | AC Volts | |
入力電流 | 0.3 | 20 | W | |
オプションパルスオペレーション | 10 | KHz |
モデル | 構成 | 出力(KRay) | 主要スペクトル |
---|---|---|---|
OArLP-L | O、557.7nm光源 | ~200KRay | 555.7 |
O2HeMP-L | O2大気波長 | ~2000KRay | 700~900 |
Minimum | Average | Maximum | 単位 | |
---|---|---|---|---|
プラズマキャビティ | 30×9 | Mm ID | ||
窓材 | MgF2 | |||
ドリフト | 0.2 | 1.0 | % per hour | |
キャリブレーション | トレーサブルなNIST標準によって決定された絶対強度 | |||
テスト | VUV波長帯域において波長を測定 | |||
寿命 | 500 | Hours | ||
筐体温度 | 0 | 55 | ℃ | |
入力電圧(50-60Hz) | 8 | 35 | AC Volts | |
入力電流 | 0.3 | 20 | W | |
オプションパルスオペレーション | 10 | KHz |
スペクトル
図面

