無電極EUV(極紫外)ガスフロー光源
Resonance Ltd. の無電極EUV光源はEMIシールドされた筐体で設計されたキャピラリーボアを備えたRF励起ガスフローランプです。任意のガスを流入させることにより、放射波長を選択することが可能です。ランプ内部にはAC電源で駆動可能なRF励振器が内蔵されており、10^15 photons/sec/ster(主要ピーク)を放射することが可能です。Resonance社のVMシリーズ分光器と組み合わせることにより、EUV波長可変光源として使用することができます。
特徴
- 1015 photons/sec/sterのスペクトル強度
- 58nmのEUV光を提供可能
- コンパクト設計、1kg以下
- 分光器に接続し、EUV波長可変光源として使用可能
アプリケーション
- 分光分析
- 励起蛍光
製品情報
無電極EUV光源 | |
---|---|
入力 | 110-240V |
電流 | 0.5A@110V typical |
重量 | 800g |
出力 | >10^15 ph/sec/str(for major spectral lines) |
真空アダプター | 2 3/4" CF flange standard |
波長再現性 | +/- 0.2nm |
ガス | 波長 |
---|---|
He | 58.43 |
Ne | 73.59, 74.37 |
Ar | 104.82, 106.67 |
H | 102.57, 121.57 |
O | 130.22, 130.48, 130,61 |
N | 120 |
Cl | 118 |
N2 | LBH帯 |



