無電極EUV(極紫外)ガスフロー光源

Resonance Ltd. の無電極EUV光源はEMIシールドされた筐体で設計されたキャピラリーボアを備えたRF励起ガスフローランプです。任意のガスを流入させることにより、放射波長を選択することが可能です。ランプ内部にはAC電源で駆動可能なRF励振器が内蔵されており、10^15 photons/sec/ster(主要ピーク)を放射することが可能です。Resonance社のVMシリーズ分光器と組み合わせることにより、EUV波長可変光源として使用することができます。

特徴

アプリケーション

製品情報

無電極EUV光源
入力110-240V
電流0.5A@110V typical
重量800g
出力>10^15 ph/sec/str(for major spectral lines)
真空アダプター2 3/4" CF flange standard
波長再現性+/- 0.2nm
ガス波長
He58.43
Ne73.59, 74.37
Ar104.82, 106.67
H102.57, 121.57
O130.22, 130.48, 130,61
N120
Cl118
N2LBH帯

その他データ

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