EUV/XUVビームライン光源

当社の製品ポートフォリオには、真空波長域の統合型光源が含まれています。これらの光源により、シンクロトロン放射光を用いた測定が可能になります。
高次高調波発生(HHG)ビームラインは、コヒーレントなレーザーのような極端紫外線(XUV)および軟X線放射を提供する強力な卓上型装置です。当社のビームラインシステムを用いて、プラズマ物理学や表面科学における基礎研究が実現されています。
レーザー駆動型プラズマ光源proLINEは、ターンキー方式で極端紫外線(EUV)放射を提供します。広帯域出力と単色出力の両方が利用可能です。

euv LPP光源proLINE
コンパクトEUV光源 proLINE|レーザー生成プラズマ(LPP)方式
卓上サイズでXUV/EUVの生成が可能
L1060817 (1)
HHG(高次高調波)光源 beamLINE|EUV・VUV・XUV分光・分析向け
卓上サイズでXUV/EUVの生成が可能
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