VUV(真空紫外)/XUV(極紫外)分光器/モノクロメーター
ドイツHP Spectroscopy社のVUV(真空紫外)およびXUV(極紫外)の分光器は真空チャンバーへの接続に対応し、カメラを含めたトータルシステムとして提供可能です。
独自の入射スリットを排したNo-slitデザインに対応したモデルは広範囲の波長帯域に対応しつつ、より効率的に光を取り込みことを可能としています。
光源は使用するスペクトルに対応したガスを選択可能です。分光器、モノクロメーター、光源を含めたシステム構成をご提案可能です。
真空紫外(VUV)とは
「真空紫外（しんくうしがい）」とは、紫外線の中でも特に波長が短い 100〜200 nm の領域を指します。
英語では Vacuum Ultraviolet（略称：VUV） と呼ばれます。
この波長域の光は空気中の酸素や水分に強く吸収されるため、
空気中ではほとんど伝播できず、真空中または窒素などの不活性ガス環境でのみ観測・利用可能です。
そのため「真空紫外」と呼ばれています。
特徴
真空紫外光は非常に高い光子エネルギーを持ち、物質の化学結合を切断したり、表面を活性化したりすることができます。
この特性により、他の光領域では得られない反応や分析が可能になります。
| 特徴 | |
|---|---|
| 波長範囲 | 約100~200nm |
| 光子エネルギー | 約6~12eV |
| 雰囲気条件 | 真空または不活性ガス中でのみ伝播 |
| 主な透過材料 | MgF2, CaF2, LiFなど |
| 特徴 | 高エネルギーで化学反応・表面分析に有効 |
主な応用分野
| 分野 | 具体的な用途 |
|---|---|
| 分光分析 | 光電子分光(UPS), 吸収分光、フォトルミネッセンス測定 |
| 半導体・材料 | レジスト露光、表面洗浄、フォトエッチング |
| 化学・表面科学 | 光分解、フォトアシスト反応、触媒活性化 |
| バイオ・生命科学 | タンパク質や核酸の構造解析、分子反応の観測 |
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